美国Zygo激光干涉仪是光学检测与精密测量领域的标杆设备，由美国Zygo公司（现隶属于Ametek集团）研发生产，广泛应用于光学元件表面形貌检测、平面度/球面度测量、半导体光刻系统校准、自由曲面加工验证等场景。其核心技术基于激光干涉测量法，结合先进的光学设计与算法，可实现亚纳米级分辨率和超高精度动态测量。

1、干涉测量原理
Zygo干涉仪基于迈克尔逊干涉仪或菲索干涉仪结构，通过激光束分光后形成参考光与测试光的干涉条纹，利用条纹相位变化反演被测表面的形貌误差。

• 动态测量模式：适用于振动环境下的实时检测（如在线加工监测）。

• 静态高精度模式：分辨率可达0.1nm，用于实验室级超精密检测。

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• 2、关键技术模块

• 激光光源：

• 使用稳频He-Ne激光器（波长632.8nm），保障波长稳定性（±0.1ppm），消除环境扰动误差。

• 光学系统：

• 多级扩束与准直设计，支持大视场（如Φ300mm）与小区域（微米级）高分辨率扫描。

• 相位解调算法：

• 专利相位偏移技术（PSI）与垂直扫描干涉术（VSI），适应不同粗糙度表面（从镜面到磨砂面）。