1、干涉原理激光平面干涉仪基于菲索干涉或泰曼-格林干涉结构：
参考光路：激光经分束镜分为两束，一束作为参考光（经参考镜反射）。
测试光路：另一束照射被测表面后反射，与参考光干涉形成明暗交替的干涉条纹。
条纹分析：条纹形状反映被测面与参考面的偏差，通过相位解调算法计算表面形貌误差。
2、关键技术特性
波长稳定性：通常使用稳频He-Ne激光器（波长632.8nm），确保测量基准稳定。
相位检测技术：包括相移干涉术（PSI）和垂直扫描干涉术（VSI），适应不同表面粗糙度（镜面至亚光面）。
