1、测量范围
常见型号：0~300mm、0~600mm、0~1000mm（特殊型号可达2m）。
垂直行程：通常覆盖全量程，重复定位精度±1μm~±3μm（高端型号）。
2、分辨率与精度
分辨率：0.001mm（1μm）或0.0001mm（0.1μm，如高精度型号）。
示值误差：±(1.5+L/200) μm（L为测量长度，单位mm，符合JIS标准）。
3、附加功能
多点测量：自动计算平面度、平行度。
数据统计：CPK、最大值/最小值记录。
探针补偿：自动修正测头半径对测量结果的影响。
